晶圓強(qiáng)磁場退火熱處理裝備可以將被測樣品同時(shí)置于強(qiáng)磁場、高真空、高溫、氣氛環(huán)境中，同時(shí)也可以單獨(dú)或任意組合這三種實(shí)驗(yàn)環(huán)境，滿足不同樣品在不同環(huán)境下的測試要求。

適應(yīng)范圍：高溫、高真空、強(qiáng)磁場環(huán)境中加熱或去磁的各種磁性材料。

性能指標(biāo)參數(shù)

磁體軸線上，縱向磁場分布詳見附件電磁設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)

磁體均勻區(qū)縱向磁場均勻度小于0.1%

溫孔軸心和磁場軸心偏差（包括平移和傾斜）小于0.2mm

勵(lì)磁電流小于120A，軸心磁場達(dá)到12T

常溫到超導(dǎo)工作時(shí)間應(yīng)小于48小時(shí)。

安*保護(hù)

高溫報(bào)警：設(shè)備發(fā)出警報(bào)后自動(dòng)切斷輸出，實(shí)現(xiàn)設(shè)備保護(hù)。

失超報(bào)警：設(shè)備失超后自動(dòng)保護(hù)。

缺相報(bào)警：設(shè)備缺相后發(fā)出錯(cuò)誤指示，直至恢復(fù)正常。

真空度警報(bào)：實(shí)現(xiàn)真空度非正常狀態(tài)報(bào)警